? X、Y和Z軸的最大行程4mm；
? 撓性設計，確保平滑連續(xù)運動和長期穩(wěn)定性；
? 頂板帶凹槽，確保多軸位移臺配件的對準；
? 緊湊尺寸：112.0mm*112.0mm，不包括驅(qū)動器；
? 采用SM13/SM25游標測微頭，游標刻度理論精度10μm；
? 采用DRP系列差分調(diào)節(jié)器，游標刻度理論精度1μm； 所有調(diào)節(jié)器都均接駁到共用的基部底座，將串擾降到最低；
? 模塊化的設計允許拆卸和更換外置促動器；
? 適用于專業(yè)光纖耦合系統(tǒng)、光纖對準或波導定位系統(tǒng)；
我們的三軸Nano X3系列位移臺的模塊化設計允許在任何時候拆卸和更換驅(qū)動器。所有驅(qū)動器都直接耦合在底部，將系統(tǒng)中運動串擾降到最低。平行撓性設計確保了精確、平滑、連續(xù)的運動，摩擦可以忽略。我們提供內(nèi)置壓電驅(qū)動版本。
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手動三軸撓性位移臺 |
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型號 |
Nano X3-MA |
Nano X3-MB |
Nano X3-MC2 |
Nano X3-MD |
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調(diào)節(jié)器 |
SM13測微頭 |
SM25測微頭 |
DRP-C差分調(diào)節(jié)器 |
DRL51-C差分調(diào)節(jié)器 |
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粗調(diào)進給量 |
500μm/圈 |
500μm/圈 |
500μm/圈 |
500μm/圈 |
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精調(diào)進給量 |
/ |
/ |
300μm，50μm/圈 |
300μm，50μm/圈 |
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理論精度 |
/ |
10μm |
粗調(diào)10μm，精調(diào)1μm |
粗調(diào)10μm，精調(diào)1μm |
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重量 |
781.6g |
946.5g |
879.1g |
899.2g |
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規(guī)格 |
112.0*112.0*62.5mm（不含驅(qū)動器） |
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頂板尺寸 |
60.0*60.0mm |
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可調(diào)行程 |
XYZ軸4mm |
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材質(zhì) |
7075鋁合金 |
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壓電三軸撓性位移臺 |
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型號 |
Nano X3-MP |
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可調(diào)行程 |
4mm(粗調(diào)); 20μm(壓電驅(qū)動器) |
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調(diào)節(jié)器 |
SM13游標測微頭、壓電驅(qū)動器 |
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控制方式 |
開環(huán) |
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電壓范圍 |
0-75V |
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理論分辨率 |
20nm |
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雙向重復性 |
200nm |
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給進量 |
10μm/分度，500μm/轉 |
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重量 |
828.0g |
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